目次
環境配慮製品の販売拡大
環境負荷の少ない製品を可視化するため独自の「環境配慮製品認定制度」を設け、生産時・使用時それぞれにおいて環境負荷低減に効果がある製品を「環境配慮製品」として認定・開示しています。
当社は「環境配慮製品」の開発・拡販に積極的に取り組んでおり、全社の製品売上高における売上構成比率は年々向上しています。(2022年度：79.6%)
※ 9事業部の国内製品売上高（部品、修理サービス等を除く）における環境配慮製品の売上高比率。
環境配慮製品認定製品には『スーパーエコ製品』と『エコ製品』の2段階のレベルを設定しています。なお、環境配慮(環境ラベル)認定製品の環境性能については、適宜製品カタログやウェブサイト等で開示しています。
ダイヘングループ環境ラベル
環境配慮製品には「スーパーエコ製品」「エコ製品」の2段階のレベルを設定しています。
- ※当社グループの環境ラベルは、国際標準化機構(ISO)で定められた環境ラベルのうち、メーカーの自主基準に基づき、環境に配慮した製品であることを示す自己宣言(タイプⅡ)に該当します。
環境配慮製品認定製品（環境ラベル）一覧
各事業部をクリックすると詳細の認定製品が表示されます。
スーパーエコ製品
産業電機事業部（変圧器）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| トップランナーモールド変圧器 「ULTRA ECOシリーズ」 (500～2000kVA) |
UMP・UMS シリーズ |
●省エネ法トップランナー基準適合 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●製品使用時での環境負荷低減（高効率による省エネルギー） |
(※)RoHS指令対応
EMS事業部（パワーコンディショナ）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ 100kW |
JH-100KA5 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●業界ﾄｯﾌﾟﾚﾍﾞﾙの変換効率 ●新エネルギーの普及・促進 |
| P100JAT1/JDT1-A01 | ||
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ 250kW |
JH-250KA3 | |
| P250JDT1-A02 | ||
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ エアコンレス250kW |
P250JDT2-A01 | |
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ トランスレス250kW |
JH-250KE | |
| P250JCL1-A01 | ||
| P250JFL1-A01 | ||
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ 500kW |
P500JFL1-A01 | |
| P500JFL1-A02 | ||
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ エアコンレス500kW |
P500JHL2-A01 | |
| P500JHL2-B01 | ||
| P500JJL2-B01 | ||
| 太陽光発電用 パワーコンディショナ 333kW |
P333JFL1-A02 |
(※)RoHS指令対応
溶接・接合事業部（溶接機・切断機）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| Welbeeデジタルインバータ制御式TIG溶接機 | WB-T500P | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| Welbeeデジタルインバータ制御式CO2/MAG溶接機（高能率アーク溶接システムD-Arc） | WB-DPS | ●高能率アーク溶接 ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
(※)RoHS指令対応
エコ製品
配電システム事業部（配電用機器）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| 配電用柱上変圧器 耐塩形（5～100kVA） | PPS028～030, PPS056～059 | ●分解性、再組立性の向上 |
| 配電用柱上変圧器 耐塩形（10～133kVA） | UPS13～UPS137 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 配電用柱上変圧器・強化耐塩形（5～100kVA） | PPS060～063, PPS045, PPS050, PPS051 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） ●分解性、再組立性の向上 |
| 配電用柱上変圧器 強化耐塩形（10～100kVA） | RPS163～166, RPS096～097 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 配電用柱上変圧器 重塩害用（5～75kVA） | SPS039～SPS044 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） ●分解性、再組立性の向上 |
| 配電用柱上変圧器 耐雷形（10～100kVA） | RPS054, RPS055, RPS159～162 |
●実運用時の損失低減による省エネ ●製品使用時での環境負荷低減 （軽量化、コンパクト化、低騒音化） |
| 配電用アモルファス柱上変圧器 耐雷形（10～30kVA） | RPS167, RPS168, RPS169 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 配電用アモルファス変圧器 （20～30kVA) |
SPS045, SPS046 | ●製品使用時での省エネルギー （エネルギー消費効率向上） ●コンパクト化 |
| 配電用柱上変圧器 一般形（10～75kVA） | QPS023, QPS024, QPS025 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） ●分解性、再組立性の向上 |
| 配電用柱上変圧器 一般形（10～75kVA） | SPS053, SPS054, SPS055, SPS056, SPS057, SPS058 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 配電用柱上変圧器 一般形（5～100kVA） | WPS040, WPS041 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 配電用柱上変圧器 一般形（10～133kVA） | UPS177～183 | ●分解性、再組立性の向上 |
| 集合住宅用変圧器（250+50kVA） | SUV047 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、電磁障害の抑制） ●操作性の向上 |
| 地上用変圧器(気中断路器形) | RUV256, RUV257, RUV313 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） ●操作性の向上 |
| 遠方制御気中開閉器用電源変圧器 一般用5kVA | QCS044 | ●製品使用時での環境負荷低減 （軽量化、低騒音化） |
| 全閉形気中開閉器 | AS2-4B | ●分解性の向上による分別の容易化 |
| 三相センサ内蔵高圧配電線自動区分開閉器 | SVL3-4B | ●配電線の事故点評定が容易 ●操作性の向上 |
| 三相電源センサ対応開閉器子局 | SVL3-TRP, SVL3-TRS |
●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 光ユニット子局 | SVL3-TRO | ●製品使用時での環境負荷低減 （作業効率UP、長寿命化） |
| 地上設置型開閉器光用子局 | VMT1-TRO, VMT7-TRO | ●製品使用時での環境負荷低減 （作業効率UP） |
| 地上設置型多回路真空開閉器 | VMT6-4E | ●製品使用時での環境負荷低減 （電磁障害の抑制） |
| 耐雷素子内蔵共用形真空自動開閉器(400A, 600A) | 400A：VML4-4B, 600A：VML4-6B | ●耐久性向上による長寿命化 ●装柱美観向上・装柱作業性向上 |
| 小型お客さま情報IP伝送装置 | IPT-HN3E, IPT-HN4E, IPT-HN6E |
●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、軽量化） |
| 配電用自動電圧調整器 | TST009VI | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、低騒音化） |
| RST189VI | ||
| 分散電源対応型自動電圧調整器（3000kVA） | RST209VI | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） ●漏油対策を強化 |
| 分散電源対応型自動電圧調整器（5000kVA） | RST211VI | ●製品使用時での環境負荷低減 （消費電力の削減、コンパクト化） |
| 自動電圧調整器逆潮流対応 | QST051VI | ●作業性向上 |
| 6kV高圧自動電圧調整器（5000kVA） | SSV027VI, SSV031VI | ●耐久性向上 ●高防錆化 ●メンテナンス性向上 |
| サイリスタ式三相高圧自動電圧調整器（500kVA） | UST217TH | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、騒音低減） ●タップ切換器耐用向上 ●コンパクト化 |
| 自動電圧調整器子局 | USV-TRHP | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| テレコン情報システム対向用変電所子局 | SS-THTIS | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、軽量化） |
| 耐雷素子内蔵高圧真空過負荷遮断器 | VBL1-4B | ●耐久性向上による長寿命化 ●装柱作業性の向上 ●軽量化 |
| 避雷素子内蔵側路用柱上気中開閉器 | BPL1-4B, BPL2-4B, BPL3-4B |
●耐久性向上による長寿命化 ●装柱作業性の向上 ●コンパクト化、軽量化 |
| 地上設置型3回路開閉器 | VM10-4E | ●保守容易性の向上 ●操作性の向上 ●電磁障害の抑制 |
| SVR用ディジタル形多機能継電器 | DSRY-H010, DSRY-H010Q, DSRY-H010U, DSRY-H010V | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
大形変圧器事業部（変圧器）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| 電力会社向け 75.25/6.9kv変圧器10MVA、20MVA | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、低騒音化） |
| 電力会社向け 高効率75.25/6.9kV変圧器10MVA | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、低騒音化） |
| 電力会社向け 78.75/6.75kV変圧器10MVA、26MVA | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （輸送性向上、工期短縮） |
| 電力会社向け 64.5/6.9kV変圧器10MVA、20MVA | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （輸送性向上、工期短縮） |
| 電力会社向け 77/22,33kV変圧器30MVA | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （輸送性向上、現地油処理作業の低減） |
| 電力会社向け 10MVA、15MVA、45MVA、100MVA、100MVA超過変圧器 | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 電力会社向け 200MVA超過変圧器 | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、低騒音化） |
| 民間需要家向け 100MVA超過変圧器 | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 電力会社向け30/60Mvarシャントリアクトル | 一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
産業電機事業部（変圧器）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| トップランナー油入変圧器「ULTRA ECOシリーズ」 （75～2000kVA） |
USE・USP・UVP・UVSシリーズ | ●省エネ法トップランナー基準適合 ●製品使用時での環境負荷低減 （高効率による省エネルギー） |
| トップランナー油入変圧器「TOP ECOシリーズ」 （10～2000kVA） |
TSE・TSP・TVP・TVS・TTEシリーズ | ●省エネ法トップランナー基準適合 ●製品使用時での環境負荷低減 （高効率による省エネルギー） |
| トップランナーモールド変圧器「TOP ECO」（10～2000kVA） | TME・TMP・TMSシリーズ | ●省エネ法トップランナー基準適合 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●製品使用時での環境負荷低減 （高効率による省エネルギー） |
| 配電機能付変圧器 | D-FIT-300 | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー、軽量化、コンパクト化） |
| 太陽光発電用変圧器 | DISOLA PACKシリーズ | ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| コンパクト型高圧インバータ用Ｈ種乾式変圧器 | － | ●製品使用時での環境負荷低減 （コンパクト化、軽量化） |
| トップランナーモールド変圧器2014「TOP ECO Ⅱ シリーズ」（10～2000kVA） | T2ME, T2MP, T2MSシリーズ他 | ●省エネ法トップランナー2次基準適合 ●製品使用時での省エネルギー （エネルギー消費効率向上） ●低騒音化 ●耐震性向上 |
| トップランナー油入変圧器2014「TOP ECO Ⅱ シリーズ」（10～2000kVA） | T2SE, T2SP, T2VP, T2VSシリーズ他 | |
| ソーラートランスα | － | ●省エネ法トップランナー基準適合 ●製品使用時での環境負荷低減 （コンパクト化、軽量化） |
| スコット結線変圧器 （10～100kVA） |
－ | ●製品使用時での環境負荷低減 （軽量化、省資源化） |
| 特高DISOLA PACK用昇圧変圧器 | － | ●製品使用時での環境負荷低減 （コンパクト化、軽量化） |
EMS事業部（パワーコンディショナ）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| DISOLAPACKNEO （エアコンレス対応） |
－ | ●新エネルギーの普及・推進 ●製品使用時での環境負荷低減 （損失低減による省エネルギー） |
| 250kWエアコンレスパワーコンディショナ | B250JHL2-A01, P250JHL2-A01 |
●新エネルギーの普及・推進 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 500kWエアコンレスパワーコンディショナ | P500AHL2-A01 | ●新エネルギーの普及・推進 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 500kWエアコンレスパワーコンディショナ用直流集電箱 | W500J-A01 | ●新エネルギーの普及・推進 ●製品使用時での環境負荷低減 （消費電力低減） |
(※)RoHS指令対応
溶接・接合事業部（溶接機・切断機）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| Welbeeデジタルインバータ制御式 パルスMAG/MIG・低スパッタCO2/MAG自動溶接機 |
WB-P352L | ●操作性の向上 （ガイド機能の搭載、多言語対応) ●製品使用時での環境負荷低減 （低スパッタによる廃棄物削減、省エネルギー、長寿命化） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| WB-P502L | ||
| Welbeeデジタルインバータ制御式 パルスMAG/MIG・CO2/MAG/MIG自動溶接機 |
WB-P352 | |
| Welbeeデジタルインバータ制御式 低スパッタCO2/MAG自動溶接機 |
WB-M352L | |
| Welbeeデジタルインバータ制御式 CO2/MAG自動溶接機 |
WB-M352 |
|
| WB-M502 | ||
| Welbeeデジタルインバータ制御式 多目的自動溶接機 |
WB-M502GS | |
| Welbeeデジタルインバータ制御式 交直両用パルスMAG/MIG自動溶接機 |
WB-W350 | ●操作性の向上 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| デジタルインバータ制御式CO2/MAG自動溶接機 | DM-353 | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化） |
| デジタルインバータ制御式CO2/MAG自動溶接機 | DM-500 | |
| デジタルインバータ制御式 低スパッタ・低入熱CO2/MAG自動溶接機 |
DL-350Ⅱ | ●製品使用時での環境負荷低減 （低スパッタによる廃棄物削減） |
| インバータ制御式 CO2/MAG自動溶接機 |
CPDE-350 | ●操作性の向上 ●製品使用時での環境負荷低減 （低スパッタによる廃棄物削減、省エネルギー、長寿命化） |
| インバータ制御式 ガウジング兼用CO2/MAG自動溶接機 |
CPDE-500G | |
| Welbeeデジタルインバータ制御式 交直両用パルスTIG溶接機 |
WB-A350P | ●操作性の向上 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| Welbeeデジタルインバータ制御式 交直両用パルスTIG溶接機 |
WB-A500P | |
| デジタルインバータ制御式 直流パルスTIG溶接機 |
DT-303P | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化） |
| デジタルインバータ制御式 ポータブル直流パルスTIG溶接機 |
DTM-200P | |
| デジタルインバータ制御式 直流パルスTIG溶接機 |
VRTPM-202 | |
| インバータ制御式 交直両用パルスTIG溶接機 |
AVP-300 | |
| インバータ制御式 エアープラズマ切断機 |
DCT-35 | ●操作性の向上 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| DCT-35C | ||
| DCT-60 | ||
| DCT-60C | ||
| Welbeeデジタルインバータ制御式 プラズマ溶接機 |
WB-F300P | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 自動機用コンタクトチップ （Eチップ45mm） |
E-TIP | ●製品使用時での環境負荷低減 （製品耐久性向上による廃棄物削減） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| ガスセーバ－ | GFC01 | ●製品使用時での環境負荷低減 （溶接ガス使用量の低減） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| ガスセーバ－ライト | K5808 | |
| コールドタンデムGMA用フィラワイヤガイド | FGCW-01A35 | ●製品使用時での環境負荷低減 （低スパッタによる廃棄物削減、省エネルギー） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| マイコン・サイリスタ制御式 CO2/MAG自動溶接機 |
CPXD-350 | ●操作性、保守容易性の向上 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| CPXD-500 |
(※)RoHS指令対応
FAロボット事業部（産業用ロボット）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| ポジショナ | 1PC500 | ●製品使用時での環境負荷低減 （コンパクト化、軽量化、低騒音化） |
| ロボット制御装置 | FD19 | ●製品使用時での環境負荷低減 （待機電力削減による省エネ） ●ロボット教示操作性の向上 |
| ロボットマニピュレータ | FD-B4S | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| ロボットマニピュレータ | FD-B4LS | |
| ロボットマニピュレータ | FD-B6 | |
| ロボットマニピュレータ | FD-B6L | |
| ロボットマニピュレータ | FD-V6S | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー） ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| ロボットマニピュレータ | FD-V6LS | |
| ロボットマニピュレータ | FD-V8 | |
| ロボットマニピュレータ | FD-V8L | |
| ロボットマニピュレータ | FD-V20S | |
| ロボットマニピュレータ | FD-V25 | |
| ロボットマニピュレータ | FD-H5 | |
| ロボットマニピュレータ | FD-S3 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●待機電力低減による省エネルギー |
| 高精度ロボットマニピュレータ | FD-A20 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●コンパクト化 ●軽量化 ●使用電力低減による省エネルギー |
| 溶接電源インターフェース デジタル |
L22440 | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化、軽量化） |
| ワイヤレスティーチペンダントWiTP | － | ●製品の美観、操作性向上 ●保守性向上 |
| ロボット監視ユニット | RMU20 | ●製品の長寿命化と使用部材の低減 ●設置ｽﾍﾟｰｽの低減 |
| ロボット溶接品質管理システム | L22880A | ●不良品発生による廃棄物 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| コールドタンデムGMA溶接システム | － | ●ライン設備の低減 ●省資源化と省エネルギー化 |
| シンクロフィードGMA溶接システム | － | ●お客様の環境負荷低減 ●適用電流域が業界上位レベル |
| レーザトラッキングセンサ | FD-QT | ●作業性の向上 ●軽量化 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 2Dビジョンセンサ | L-23520 | ●作業効率の向上 ●コンパクト化、軽量化 ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
(※)RoHS指令対応
プラズマシステム事業部（プラズマ発生用電源・自動整合器）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| 高周波電源 AVANCER （13.56MHz 3kW/5kW） |
AVANCERシリーズ | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化、軽量化） |
| プラズマ発生用高周波電源 マイクロ波電源および自動整合器 |
一部機種 | ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー、コンパクト化、軽量化） |
クリーンロボット事業部（クリーン搬送ロボット）
| 製品名 | 型式 | 主な環境機能項目 |
|---|---|---|
| 真空4軸ウエハ搬送ロボット | SPR-3504 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 真空3軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8540 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8541 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8522 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8508 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8545 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8546 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8534 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8539 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8542 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8548 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8552 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8553 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8554 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8555 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8556 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8557 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8560 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8561 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8565 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8566 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8567 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8568 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8571 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8572 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8573 | |
| 真空4軸液晶基板搬送ロボット | SPR-8574 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UTC-R800 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) ●製品使用時での環境負荷低減 （省エネルギー） |
| 大気4軸ウエハ搬送ロボット | UTC-R820 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UTX-RD5700 | |
| 大気4軸ウエハ搬送ロボット | UTW-RD5700 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UTX-RD6700 | |
| 大気4軸ウエハ搬送ロボット | UTW-RD6700 | |
| 大気4軸ウエハ搬送ロボット | UTW-RS5500 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UTX-RS5500 | |
| 大気4軸ウエハ搬送ロボット | UTW-RS6000 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UTX-RS6000 | |
| 大気3軸ウエハ搬送ロボット | UT-AFX3000NM | |
| 大気マスク搬送ロボット | UTPX-R5500C | |
| 大気ウエハ搬送ロボット | UTW-RF5500 | |
| 大気ウエハ搬送ロボット | UTW-RF6000 | |
| 大気ウエハ搬送ロボット | UTX-RF5500 | |
| 大気ウエハ搬送ロボット | UTX-RF6000 | |
| 薬品搬送ロボット | FDCL-V4M | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| アライナ | OFH-4100 | ●有害化学物質の使用廃止もしくは規制値以下に削減(※) |
| 剥離検出機能付きアライナ | OFH-4100i2 | |
| 欠け検出機能付きアライナ | OFH-4101i |
(※)RoHS指令対応
