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ウエハ搬送ロボット

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ACTRANS ウエハ搬送ロボット
UTX/W-RD6700

~200mmウエハ用

省スペースなコントローラ内蔵型ロボット

特長

  • コントローラ内蔵で省スペース化
  • 消費電力を50%低減

仕様 ※1

型式 Model UTX-RD6700 UTW-RD6700
ロボット形状 Robot Type 3軸円筒座標形
3-axis Cylindrical Coordinate
4軸円筒座標形
4-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis +435mm +385mm/(-85mm)
θ-axis 340°
Z-axis 200mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 1000mm/sec
θ-axis 320°/sec
Z-axis 250mm/sec
分解能
Resolution
X, A-axis 0.01mm/pulse or less
0.0018°/pulse (Arm Operation Angle)
θ-axis 0.0018°/pulse
Z-axis 0.002mm/pulse
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 Payload 0.5kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 21kg 23kg
必要諸源 Facilities 真空 Vacuum -80KPag or less, 10NL/min
電源 Power 24 VDC 10A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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