UT-AFX/W3000NM
～300mmウエハ用標準モデル
電力線通信技術を搭載した
弊社標準ロボット
特長
- ●電力線通信技術を搭載している標準モデル
- ●多彩なオプションをラインアップ
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-AFX3000NM | UT-AFW3000NM | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 3-axis Cylindrical Coordinate | 4-axis Cylindrical Coordinate | |
| 動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 500mm | |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | 300mm or 450mm | ||
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 1000mm/sec | |
| θ-axis | 200°/sec | ||
| Z-axis | 250mm/sec | ||
| 動作時間 Cycle Time |
X1, X2-axis | 1.0sec/500mm | |
| θ-axis | 2.2sec/340° | ||
| Z-axis | 1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
||
| 可搬重量 Payload | 1.0kg/arm (ハンドを含む)(Including E/E) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 (ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass | 30kg | 32kg | |
| 必要諸元 Facilities | 真空(吸着用) Vacuum(for adsorption) |
-80kPaG or less, 10NL/min | |
| 真空(機内排気用) Vacuum(for Purging) |
-80kPaG or less, 10NL/min | ||
| 電源 Power | Single-phase 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A | ||
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 5-45℃ | |
| 湿度 Humidity | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
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