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ACTRANS
UT-AFX/W3000NM ~300mmウエハ用標準モデル 電力線通信技術を搭載した
弊社標準ロボット

特長

  • 電力線通信技術を搭載している標準モデル
  • 多彩なオプションをラインアップ

仕様 ※1

型式 Model UT-AFX3000NM UT-AFW3000NM
ロボット形状 Robot Type 3-axis Cylindrical Coordinate 4-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X1, X2-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm or 450mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X1, X2-axis 1000mm/sec
θ-axis 200°/sec
Z-axis 250mm/sec
動作時間
Cycle Time
X1, X2-axis 1.0sec/500mm
θ-axis 2.2sec/340°
Z-axis 1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
XYZ direction ±0.1mm each
可搬重量 Payload 1.0kg/arm (ハンドを含む)(Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 Mass 30kg 32kg
必要諸元 Facilities 真空(吸着用)
Vacuum(for adsorption)
-80kPaG or less, 10NL/min
真空(機内排気用)
Vacuum(for Purging)
-80kPaG or less, 10NL/min
電源 Power Single-phase 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 5-45℃
湿度 Humidity 20-70% (結露なきこと)(No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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