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ACTRANS
UTC-R800 ~200mmウエハ用 旧MECS社のベストセラーを
最新の技術で復刻したロボット

特長

  • 旧MECS社UTC-800の復刻版
  • 消費電力を70%低減
  • ティーチペンダントを新規搭載

仕様 ※1

型式 Model UTC-R800
ロボット形状 Robot Type 3軸円筒座標形
3-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X-axis +220mm
θ-axis 360°
Z-axis 170mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X-axis 330mm/sec
θ-axis 210°/sec
Z-axis 70mm/sec
分解能
Resolution
X-axis 0.01mm/pulse or less
θ-axis 0.0091°/pulse
Z-axis 0.003mm/pulse
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 Payload 0.2kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 15kg
必要諸源 Facilities 真空 Vacuum -80KPag or less, 10NL/min
電源 Power 100-115VAC (50/60kHz) 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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