OFH-4100 シリーズ
50～300mmウエハ用
高速アライメントが可能なアライナ
特長
- ●世界最高レベルのアライメント速度
- ●石英ウエハにも対応可能
仕様
| 型式 Model | OFH-4100 | OFH-4101 | OFH-4102 | OFH-4103 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size (※1) |
200-300mm | 150-200mm | 100-200mm | 50-150mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | ||||
| アライメント時間 Alignment Time | 1.8sec. (※2) | ||||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644） | ||||
| 本体質量 Mass | 8kg | ||||
| 必要諸源 Facilities |
真空 Vacuum | -80KPag or less, 10NL/min | |||
| 電源 Power | 24 VDC 3A | ||||
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 15-25℃ | |||
| 湿度 Humidity | 60% or less (No condensation) | ||||
※1 石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。
※2 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。
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