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ウエハアライナ

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ACTRANS
OFH-4100 シリーズ 50~300mmウエハ用 高速アライメントが可能なアライナ

特長

  • 世界最高レベルのアライメント速度
  • 石英ウエハにも対応可能

仕様

型式 Model OFH-4100 OFH-4101 OFH-4102 OFH-4103
適用ウエハサイズ
Applicable Wafer Size (※1)
200-300mm 150-200mm 100-200mm 50-150mm
繰返し位置精度 Repeatability XY方向:各±0.1mm、θ方向:±0.2°
アライメント時間 Alignment Time 1.8sec. (※2)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 8kg
必要諸源
Facilities
真空 Vacuum -80KPag or less, 10NL/min
電源 Power 24 VDC 3A
設置環境
Environment
温度 Temperature 15-25℃
湿度 Humidity 60% or less (No condensation)

※1 石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。
※2 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。

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