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SPR-8546 120kg可搬、耐熱仕様 高温環境下で使用可能な
G6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

特長

  • G6パネル対応のダブルアーム真空ロボット
  • リニアスライドタイプで高い直進性を実現
  • 独自の冷却機構で高温環境に対応

仕様

ロボット型番 SPR-8546
ロボット形状 4軸円筒座標形
本体質量 2450kg
可搬質量
(エンドエフェクタ・ホルダ含む)
X1軸 80kg以下
X2軸 120kg以下
動作範囲 X軸 2850mm
θ軸 340deg.
Z軸 590mm
動作時間
(通信時間含まず)
X軸 3.0sec./2850mm
θ軸 3.0sec./180deg.
Z軸 2.0sec./590mm
アーム水平精度(ダレ) P-P 10mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
アーム軌跡精度(蛇行) ±5mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
繰返し位置精度 XY方向:±1.0mm以下
Z方向:±0.5mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
クリーン度 ISO Class 4
耐真空度 1.3×10-5Pa
周囲温度 X軸:+20℃~+160℃
θ・Z軸:+15℃~+80℃
耐振動 4.9m/sec.2以内 (0.5G以下)

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