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SPR-8542 50kg可搬 G6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

特長

  • G6パネル対応のダブルアーム真空ロボット
  • エンドレス回転のθ軸とロングリーチZ軸搭載

仕様

ロボット型番 SPR-8542
ロボット形状 4軸円筒座標形
本体質量 2350kg
可搬質量
(エンドエフェクタ・ホルダ含む)
X1軸 50kg以下
X2軸 50kg以下
動作範囲 X軸 2620mm
θ軸 360deg.(エンドレス機構)
Z軸 252mm
動作時間
(通信時間含まず)
X軸 2.8sec./2620mm
θ軸 2.6sec./180deg.
Z軸 1.8sec./252mm
アーム水平精度(ダレ) P-P 16mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
アーム軌跡精度(蛇行) P-P 16mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
繰返し位置精度 XY方向:±0.5mm以下
Z方向:±0.5mm以下
(ホルダ取付フランジから2300mm位置)
クリーン度 ISO Class 4
耐真空度 1.3×10-6Pa
周囲温度 X軸:+15℃~+80℃
θ・Z軸:+15℃~+35℃
耐振動 4.9m/sec.2以内 (0.5G以下)

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