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ACTRANS
UTPX-R5500 マスク基板搬送用低パスラインモデル マストタイプZ軸の低パスラインロボット

特長

  • マストタイプZ軸により、低パスラインを実現
  • マスク等の重量物搬送に対応

仕様 ※1

型式 Model UTPX-R5500
ロボット形状 Robot Type 3-axis Cylindrical Coordinate
Z軸マストタイプ Z-axis unit mast type
動作範囲
Operation Range
X-axis 430mm
θ-axis 300°
Z-axis 485mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X1, X2-axis 500mm/sec
θ-axis 100°/sec
Z-axis 120mm/sec
動作時間
Cycle Time
X1, X2-axis 1.9sec/430mm
θ-axis 3.5sec/300°
Z-axis 4.4sec/485mm
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
XYZ direction ±0.1mm each
可搬重量 Payload 1.5kg/arm (ハンドを含む)(Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 Mass 45kg
必要諸元 Facilities 真空(吸着用)
Vacuum(for adsorption)
-80kPaG or less, 10NL/min
真空(機内排気用)
Vacuum(for Purging)
-80kPaG or less, 60NL/min
電源 Power Single phase 170-230 VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 15-40℃
湿度 Humidity 20-80% (結露なきこと)(No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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