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UTX/W-RF5500RW ~300mmウエハ用防滴モデル IP64の保護等級を持つ防滴ロボット

特長

  • 保護等級IP64を実現しており、水分を扱うプロセスでの使用が可能
  • ウエハ反転機構を標準搭載

仕様 ※1

型式 Model UTX-RF5500RW UTW-RF5500RW
ロボット形状 Robot Type 3-axis Cylindrical Coordinate 4-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
R-axis 180°
最大動作速度
Max. Operation Speed
X1, X2-axis 800mm/sec
θ-axis 130°/sec
Z-axis 200mm/sec
R-axis 150°/sec
動作時間
Cycle Time
X1, X2-axis 1.6sec/500mm
θ-axis 3.2sec/340°
Z-axis 2.5sec/300mm
R-axis 2.0sec/180°
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
XYZ direction ±0.1mm each
可搬重量 Payload 1.5kg/arm (ハンド・ハンドベースを含む)(Including E/E, E/E base)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 4 (ISO-14644)
本体質量 Mass 32kg 40kg
必要諸元 Facilities 圧空(クランプ用) Clamp air 0.25-0.3MPaG
圧空(結露防止・機内加圧用)
Internal pressure application and condensation prevention
0.05MPaG
電源 Power 100-115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 20-70% (結露なきこと)(No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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