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クリーン搬送ロボット

アライナ

真空環境 適用アライナ
50mm OFH-4103
100mm OFH-4102
150mm OFH-4101
200mm OFH-4100
300mm EG-303

フラットパネル搬送ロボット

真空環境搬送ロボット
可搬質量 パネルサイズ
(参考)
シングルアーム ダブルアーム
Z軸なし Z軸あり リンクアーム リニアスライド
3kg G2 SPR-801R SPR-804R
15kg G4.5 SPR-811R
35kg G4.5 SPR-8565
50kg G5 SPR-8566
70kg G5.5 SPR-8508R
85kg G6 SPR-8571 SPR-8572
120kg G6 SPR-8573
※G1~G10まで各世代の搬送ロボット製作実績があります。お気軽にお問い合わせください。

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