UT-AFX/W4000 シリーズ
～300mmウエハ用高可搬モデル
高可搬搬送と広範囲動作が
可能な標準ロボット
特長
- ●サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を
大幅に削減。 - ●高可搬搬送(ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg)を可能としたため、反転軸搭載が可能。
テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、レチクル搬送が可能。 - ●ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能。
- ●ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-AFW4010NM | UT-AFW4000NM | |
|---|---|---|---|
| 分類 Category | Long Arm Type | High Payload Type | |
| ロボット形状 Robot Type | 4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | ||
| 動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 770mm | 500mm |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | 300mm or 450mm | ||
| R-axis | - | (182°) | |
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 1180mm/sec. | 800mm/sec. |
| θ-axis | 200°/sec. | ||
| Z-axis | 250mm/sec. | ||
| R-axis | - | (180°/sec.) | |
| 動作時間 Cycle Time |
X1, X2-axis | 1.7sec./770mm | 1.7sec./500mm |
| θ-axis | 2.2sec./340° | ||
| Z-axis | 1.6sec./300mm | 2.2sec./450mm | |
| R-axis | - | (1.7sec./180°) | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ±0.1mm |
XYZ±0.1mm, R±0.1° | |
| 可搬重量 Payload | 1kg/2N･m (※2) | 4kg/8N･m (※2) | |
| クリーン度 Cleanliness |
クランプ仕様 Edge Clamp E/E Type |
ISO Class 3 (ISO-14644) | |
| 吸着仕様 Vacuum E/E Type |
ISO Class 1 (ISO-14644) | ||
| 必要諸元 Facilities | Air | - | 0.4-0.7MPa, 200L/min |
| Vacuum | -80kPa, 10NL/min | - | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 0-40℃ | |
| 湿度 Humidity | 70% or less, No condensation | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 ハンドフォルダ、ハンド、ワーク質量の合計値。
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