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クリーン搬送ロボット

DAIHEN ACTRANS Virtual Museum

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クリーン搬送ロボット
を紹介します

フラットパネル搬送ロボット（FOPLP搬送用）

SPR-AD008BTN-154/035
(受注生産品)

8kg可搬

FOPLP対応ダブルアームロボット
SPR-AD008BWN-154/070
(受注生産品)

8kg可搬

FOPLP対応ダブルアームロボット

フラットパネル搬送ロボット（真空環境用）

SPR-801R
(受注生産品)

3kg可搬

G2パネル対応のシングルアーム真空ロボット
SPR-804R
(受注生産品)

3kg可搬

G2パネル対応のZ軸付きシングルアーム真空ロボット
SPR-811R
(受注生産品)

15kg可搬

G4.5パネル対応のシングルアーム真空ロボット
SPR-8565
(受注生産品)

35kg可搬

G4.5パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット
SPR-8566
(受注生産品)

50kg可搬

G5パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット
SPR-8508R
(受注生産品)

70kg可搬

G5.5パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット
SPR-8571
(受注生産品)

85kg可搬

G6パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット
SPR-8572
(受注生産品)

85kg可搬

G6パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット
SPR-8573
(受注生産品)

120kg可搬

G6パネル対応のZ軸付きダブルアーム真空ロボット

※G8.5パネル対応については、お問い合せ下さい。

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ニュースリリース一覧

ニュース2022/07/28: ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が「機械工業デザイン賞IDEA 日本ロボット工業会賞」を受賞
ニュース2022/01/05: ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が「十大新製品賞本賞」を受賞
ニュース2021/10/29: 世界最速レベルの高速搬送を実現したウエハ搬送ロボットを新発売！

展示会・イベント情報一覧

ダイヘンのクリーン搬送ロボット

半導体・フラットパネルディスプレイ製造分野でのクリーン搬送に髙い信頼性で答えるダイヘンの独自技術のご紹介。
修理・サポート情報

ご購入前のコンサルティングからご購入後の修理、点検、オーバーホールまで、生産設備の稼働率向上のために責任をもってお手伝いします。
海外拠点の紹介

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