UT-VDX3000NS シリーズ
～300mmウエハ用
ダイレクトドライブモータを搭載し、
振動を大幅に低減した
高精度シングルアーム真空ロボット
特長
- ●ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減
- ●隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下に対応
- ●旋回軸エンドレス仕様により、装置スループット改善に貢献
- ●コントローラ内蔵により、装置の小型化に貢献
- ●ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-VDX3000NS | |
|---|---|---|
| 分類 Category | Standard Type | |
| ロボット形状 Robot Type | 2軸円筒座標型：2 axis Cylindrical Coordinate | |
| 動作範囲 Operation Range |
X-axis | 850mm |
| θ-axis | Endless | |
| Z-axis | - | |
| 動作時間 Cycle Time |
X-axis | 2.0sec / 850mm |
| θ-axis | 2.5sec / 180° | |
| Z-axis | - | |
| 繰返し位置精度 Repeatability |
XY direction | φ0.02mm(3σ) (※2) |
| Ｚ direction | - | |
| 可搬質量 Payload | 1.0kg (※3) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 | |
| 本体質量 Mass | 29kg | |
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム) |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | |
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-7Pa | |
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 当社の評価条件による
※3 ハンドベース、ハンド、ウエハの質量を含む
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