UT-VDW3000HS シリーズ
～300mmウエハ用
世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
特長
- ●世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現
- ●ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減
- ●アーム部にスチールベルトを採用し軌跡精度と位置決め精度の向上
- ●ハンド上に高摩擦パッドを採用しウエハ搬送ずれ防止
- ●ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-VDW3000HS series | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate | |
| 動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 620mm |
| θ-axis | 346° | |
| Z-axis | 50mm | |
| 最大速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 380°/sec. |
| θ-axis | 300°/sec. | |
| Z-axis | 185mm/sec. | |
| 動作時間 Operating Time |
X1, X2-axis | 0.6sec./620mm |
| θ-axis | 0.7sec./90° | |
| Z-axis | 0.25sec./20mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) (※2) | |
| 可搬質量 Payload | 2kg (※3) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 | |
| 本体質量 Mass | 160kg | |
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム表面) |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | |
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-6Pa | |
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 当社の評価条件による
※3 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量
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