EG-303 シリーズ
300mmウエハ用
ウエハ裏面に接触しない
エッジグリップタイプのアライナ
特長
- ●ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプ
- ●石英ウエハにも対応可能
仕様
| 型式 Model | EG-303 | |
|---|---|---|
| 適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size | 300mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability |
高精細モード High Accuracy Mode | XY: ±0.05mm θ: ±0.075° |
| ノーマルモード Normal Mode | XY: ±0.2mm θ: ±0.1° | |
| アライメント時間 Alignment Time |
高精細モード High Accuracy Mode | Average 7.5sec. |
| ノーマルモード Normal Mode | Average 3.5sec. | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644） | |
| 本体質量 Mass | 7kg | |
| 必要諸源 Facilities | 電源 Power | 24 VDC 3A |
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 0-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less (No condensation) | |
