UTX/W-RF5500RW
～300mmウエハ用防滴モデル
IP64の保護等級を持つ防滴ロボット
特長
- ●保護等級IP64を実現しており、水分を扱うプロセスでの使用が可能
- ●ウエハ反転機構を標準搭載
仕様 ※1
| 型式 Model | UTX-RF5500RW | UTW-RF5500RW | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 3-axis Cylindrical Coordinate | 4-axis Cylindrical Coordinate | |
| 動作範囲 Operation Range |
X, A-axis | 500mm | |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | 300mm | ||
| R-axis | 180° | ||
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 800mm/sec | |
| θ-axis | 130°/sec | ||
| Z-axis | 200mm/sec | ||
| R-axis | 150°/sec | ||
| 動作時間 Cycle Time |
X1, X2-axis | 1.6sec/500mm | |
| θ-axis | 3.2sec/340° | ||
| Z-axis | 2.5sec/300mm | ||
| R-axis | 2.0sec/180° | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
||
| 可搬重量 Payload | 1.5kg/arm (ハンド・ハンドベースを含む)(Including E/E, E/E base) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 4 (ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass | 32kg | 40kg | |
| 必要諸元 Facilities | 圧空(クランプ用) Clamp air | 0.25-0.3MPaG | |
| 圧空(結露防止・機内加圧用) Internal pressure application and condensation prevention |
0.05MPaG | ||
| 電源 Power | 100-115±10％ VAC, 50/60Hz, 5A | ||
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 0-40℃ | |
| 湿度 Humidity | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
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