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フラットパネル搬送ロボット

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SPR-804R
(受注生産品) 3kg可搬 G2パネル対応の
Z軸付きシングルアーム真空ロボット

特長

  • ●G2パネル対応のシングルアーム
  • ●磁性流体シール搭載で高真空環境に対応
  • ●SPR-801RのZ軸搭載モデル

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