UT-VFX3000NM シリーズ
～300mmウエハ用
アーム長、Z軸の有無が選択可能な
シングルアーム真空ロボット
特長
- ●2種類のアーム長に標準対応、Z軸の有無も選択でき、様々な装置レイアウトに対応
仕様 ※1
| 型式 Model (※2) | UT-VFX3000NM | UT-VFX3010NM | |
|---|---|---|---|
| 分類 Category | Standard Type | Long Arm Type | |
| ロボット形状 Robot Type | 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate | ||
| 動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 510mm | 720mm |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis (※2) | (20mm) | ||
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 948mm/sec. | 1339mm/sec. |
| θ-axis | 200°/sec. | ||
| Z-axis (※2) | (121mm/sec.) | ||
| 動作時間 Cycle Time (理論値) (Calculated value) |
X1, X2-axis | 1.2sec./510mm | 1.2sec./720mm |
| θ-axis | 2.4sec./340° | ||
| Z-axis (※2) | (1.0sec./20mm) | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ direction ±0.1mm each | ||
| 可搬質量 Payload | 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 (ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass (※2) | 29kg (35kg) | ||
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 10-40℃ (Atmosphere side) / 0-80℃ (Vacuum Seal Unit) |
|
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | ||
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-6Pa | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 ( )記載は、Z軸搭載タイプ
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