ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が「十大新製品賞 本賞」を受賞
2022年01月05日
株式会社ダイヘンの真空環境用ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が、日刊工業新聞社主催の「第64回(2021年)十大新製品賞」において「本賞」を受賞いたしました。
十大新製品賞は、応募企業がその年に開発・実用化した新製品の中から、モノづくりの発展や日本の国際競争力強化に役立つ製品を厳選し表彰するものです。
「UT-VDW3000」は、真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現したウエハ搬送ロボットです。ウエハの処理枚数を当社従来品比30%向上し、１時間あたり650枚の搬送を実現したことで、半導体の大幅な生産性向上に寄与するとともに、製造装置を増設することなく処理枚数を増やすことが可能となります。
今回の十大新製品賞では、これらの性能が近年世界各国で課題とされている半導体不足解消に貢献できるものとして高く評価され、受賞に至りました。
