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クリーン搬送ロボット

ウエハ搬送ロボット(真空環境用)

  • NEW

    UT-VDX3000NS シリーズ

    ACTRANS
    UT-VDX3000NS シリーズ

    ~300mmウエハ用

    ダイレクトドライブモータを搭載し、振動を大幅に低減した高精度シングルアーム真空ロボット

  • NEW

    UT-VDW3000HS シリーズ

    ACTRANS
    UT-VDW3000HS シリーズ

    ~300mmウエハ用

    世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット

  • UTVW-R2800H

    UTVW-R2800H

    ~300mmウエハ用

    高温プロセスに対応した高精度・低振動ダブルアーム真空ロボット

  • UT-VFX3000NM シリーズ

    ACTRANS
    UT-VFX3000NM シリーズ

    ~300mmウエハ用

    アーム長、Z軸の有無が選択可能なシングルアーム真空ロボット

ウエハ搬送ロボット(大気環境用)

  • ACTRANS UT-AFX/W4000

    ACTRANS
    UT-AFX/W4000

    ~300mmウエハ用
    高可搬モデル

    高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット

  • ACTRANS UT-AFX/W3000NM

    ACTRANS
    UT-AFX/W3000NM

    ~300mmウエハ用
    標準モデル

    電力線通信技術を搭載した弊社標準ロボット

  • ACTRANS UTM-R3700F

    ACTRANS
    UTM-R3700F

    ~300mmウエハ用

    広範囲動作が可能な多関節型ロボット

  • ACTRANS UTW-REH5500

    ACTRANS
    UTW-REH5500

    ~300mmウエハ用、高速搬送

    450WPHの高速搬送ロボット

  • UTX/W-RF5500RW

    ACTRANS
    UTX/W-RF5500RW

    ~300mmウエハ用
    防滴モデル

    IP64の保護等級を持つ防滴ロボット

  • ACTRANS UTC-R800

    ACTRANS
    UTC-R800

    ~200mmウエハ用

    旧MECS社のベストセラーを
    最新の技術で復刻したロボット

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