クリーン搬送ロボット

ACTRANS
UT-VSW3000NS シリーズ

～300mmウエハ用

真空搬送エリアの省スペース化に貢献するスカラアーム搭載ダブルハンド型真空ロボット

ACTRANS
UT-VDX3000NS シリーズ

～300mmウエハ用

ダイレクトドライブモータを搭載し、振動を大幅に低減した高精度シングルアーム真空ロボット

ACTRANS
UT-VDW3000HS シリーズ

～300mmウエハ用

世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット

UTVW-R2800H

～300mmウエハ用

高温プロセスに対応した高精度・低振動ダブルアーム真空ロボット

ACTRANS
UT-VFX3000NM シリーズ

～300mmウエハ用

アーム長、Z軸の有無が選択可能なシングルアーム真空ロボット

ACTRANS
UT-AXW3000NS

～300mmウエハ用

大気搬送エリアの省スペース化に貢献する垂直多関節型スカラアームロボット

ACTRANS
UTM-R3700F

～300mmウエハ用

広範囲動作が可能な多関節型ロボット

ACTRANS
UT-AFX/W4000

～300mmウエハ用
高可搬モデル

高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット

ACTRANS
UT-AFX/W3000NM

～300mmウエハ用
標準モデル

電力線通信技術を搭載した弊社標準ロボット

ACTRANS
UTW-REH5500

～300mmウエハ用、高速搬送

450WPHの高速搬送ロボット

ACTRANS
UTX/W-RF5500RW

～300mmウエハ用
防滴モデル

IP64の保護等級を持つ防滴ロボット