UTVW-R2800H
～300mmウエハ用
高温プロセスに対応した
高精度・低振動ダブルアーム真空ロボット
特長
- ●高温プロセスに対応したダブルアームロボット
- ●θ軸にダイレクトドライブモータ搭載でウエハを低振動で搬送し、装置スループット向上を実現
- ●ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
仕様 ※1
| 型式 Model | UTVW-R2800H | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 4軸円筒座標形: 4 axis Cylindrical Coordinate | |
| 動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 670mm |
| θ-axis | 330° | |
| Z-axis | 50mm | |
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 120°/sec. |
| θ-axis | 100°/sec. | |
| Z-axis | 25mm/sec. | |
| 動作時間 Operating Tim |
X1, X2-axis | 1.5sec./670mm |
| θ-axis | 2.4sec./180° | |
| Z-axis | 1.6sec./50mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) (※2) | |
| 可搬質量 Payload | 2.5kg (※3) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644) | |
| 本体質量 Mass | 85kg | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 15-40℃ (Atm. side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit) |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | |
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-6Pa | |
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 当社の評価条件による
※3 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量
