UTW-REH5500
～300mmウエハ用、高速搬送
450WPHの高速搬送ロボット
特長
- ●450WPHの高速搬送
仕様 ※1
| 型式 Model | UTW-REH5500 | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 4軸円筒座標系 4 axis Cylindrical Coordinate |
|
| 動作範囲 Operation Range |
X, A-axis | 500mm |
| θ-axis | 340° | |
| Z-axis | 300mm | |
| 最大動作速度 Max. Operation Speed |
X, A-axis | 1800mm/sec. |
| θ-axis | 360°/sec. | |
| Z-axis | 500mm/sec. | |
| 動作時間 Cycle Time |
X, A-axis | 0.5sec/mm |
| θ-axis | 1.2sec/340° | |
| Z-axis | 0.8sec/300mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
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| 可搬質量 Payload | 0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644) | |
| 本体質量 Mass | 32kg | |
| 必要諸源 Facilities | 真空 Vacuum | -80kPag or less, 10NL/min |
| 電源 Power | 3 Phases 200-230±10% VAC 15A | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 0-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less (No condensation) | |
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
