2MHz 高周波電源
500W～20kW
パルス出力機能付高周波電源
特徴
- ●パルス機能を搭載
- ●整合器を含めたフル・サポートにも対応
- ●大電力モデルも取り揃え、プロセスのハイパワー化に対応
仕様
| 定格出力 | 500W | 1kW | 3kW | 5kW | |
|---|---|---|---|---|---|
| 出力安定度 | ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 | ||||
| パルス周波数 | 1Hz - 50kHz（1レベル） | ||||
| 冷却方式 | 強制空冷+水冷方式 | ||||
| 外形寸法 | 幅(W) | 215mm | 430mm | ||
| 高さ(H) | 133mm(3U) | ||||
| 奥行き(L) | 500mm | 520mm | |||
※記載のない出力帯については個別にお問い合わせください。
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