40.68MHz 高周波電源
500W～5kW
2レベルパルス対応の高機能タイプ
特徴
- ●3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
- ●高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
- ●500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充
仕様
| 定格出力 | 500W | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 出力安定度 | ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 | ||||||
| パルス周波数 | 1Hz - 100kHz（2レベル） | ||||||
| 外形寸法 | 幅(W) | 215mm | 420mm | ||||
| 高さ(H) | 133mm(3U) | 222mm (5U) |
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| 奥行き(L) | 430mm | 500mm | |||||
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