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プラズマ発生用電源・自動整合器

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周波数/出力	1kW	3kW	5kW	10kW	20kW	30kW
400kHz	400kHz 高周波電源
2MHz	2MHz 高周波電源 500W～30kW
4MHz	4MHz 高周波電源
13.56MHz	13.56MHz 高周波電源・自動整合器 500W～30kW
27.12MHz	27.12MHz 高周波電源
40.68MHz	40.68MHz 高周波電源
60MHz	60MHz 高周波電源
2.45GHz	2.45GHz マイクロ波電源・自動整合器

ニュースリリース一覧

ニュース2017/12/06: SEMICON Japan 2017 出展のお知らせ
ニュース2016/12/05: SEMICON Japan 2016 出展のお知らせ
ニュース2015/11/27: SEMICON Japan 2015 出展のお知らせ
ニュース2015/02/04: SEMICON Korea 2015 出展のお知らせ

展示会・イベント情報一覧

ダイヘンのプラズマ発生用電源

ダイヘンは各種電源・整合器を通じて理想のプラズマを追及しています。
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