ダイヘンのプラズマ発生用電源

最先端のRFテクノロジーで、次世代プラズマプロセスに貢献

微細化・3次元化など、さらなる小型化や高機能化に向けた技術革新が進む半導体。「AVANCER」は、パルス発振・省電力など次世代の半導体製造プロセスで求められる様々な機能を搭載した高性能電源ブランドです。確かな技術と信頼で、日々進化する半導体産業の未来に貢献いたします。

Fine Plasmaの概念

具現化のための要素技術

より高機能・高速度・高密度・省電力が進む半導体デバイス、より高解像度が進むFPDなど、その製造工程におけるプラズマプロセスではますます再現性・安定性の高い、高度に制御されたプラズマが必要とされています。ダイヘンは長年に渡り蓄積してきたノウハウを生かし、高周波電源・マイクロ波電源、自動整合器を開発しました。提唱している「ファインプラズマテクノロジー」のもと、より最適なソリューションを提供します。

プラズマ評価装置による製品評価

当社では、社内のプラズマ評価チャンバを用いてパルス出力、周波チューニングなどの要素技術開発や製品単体性能の評価、機能改善を行っています。また多周波重畳プロセスなどの高周波電源システム全体の性能評価により、最先端プラズマプロセスに対応した高周波システムの開発を行っています。お客様への評価機ご提供前にプラズマ評価を行うことにより、お客様装置での評価期間の短縮に貢献いたします。プラズマ負荷における動作検証、信頼性確認により、プラズマプロセスに最適化された高周波回路設計、制御方法に関するノウハウを蓄積し、お客様の様々なニーズにお応えしています。