60MHz 高周波電源・自動整合器
500W～5kW
2レベルパルス出力機能付高周波電源
特徴
- ●3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
- ●高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
- ●500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充
仕様
| 定格出力 | 500W | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 出力安定度 | ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内 | |||||
| パルス周波数 | 1Hz - 100kHz（2レベル） | |||||
| 外形寸法 | 幅(W) | 215mm | 420mm | |||
| 高さ(H) | 133mm(3U) | 222mm (5U) |
||||
| 奥行き(L) | 430mm | 500mm | ||||
特徴
- ●CPU制御により最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性
- ●多彩な整合パラメータ設定
- ●PC接続によるモニタ機能を使ってデータ測定、監視が可能
仕様
| 周波数範囲 | 60MHz |
|---|---|
| 許容通過電力 | 5kW |
| 整合精度 | 1%以内（電力比）* |
| 整合速度 | 3秒以内 * |
| 冷却方式 | 水冷、強制空冷 |
- *負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
- ※詳細な仕様については個別にお問い合わせください。
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