2.45GHz マイクロ波製品
1kW～3kW
パルス出力機能付マイクロ波電源
特徴
- ●再現性の良い高精度出力で、安定した高密度プラズマの発生に貢献
- ●1kWから3kWまでの幅広いラインナップ
- ●整合器を含めたフル・サポートにも対応
仕様
| 定格出力 | 1/1.5kW | 3kW | |
|---|---|---|---|
| 出力安定度 | ±0.5%以内 | ±1%以内 | |
| パルス周波数 | 100Hz - 2kHz （1レベル） |
‐ | |
| 外形寸法 | 幅(W) | 420mm | 480mm |
| 高さ(H) | 170mm | 199mm | |
| 奥行き(L) | 530mm | 580mm | |
特徴
- ●CPU制御により最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性
- ●多彩な整合パラメータ設定
- ●PC接続による制御。外部コントロールユニットはオプション対応
仕様
| 周波数範囲 | 2460±30MHz |
|---|---|
| 許容通過電力 | 3kW 連続波（パワーリップル10%以下） |
| 整合精度 | 1%以内（電力比）* |
| 整合速度 | 2秒以内 * |
| 冷却方式 | 水冷 |
- *負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
- ※詳細な仕様については個別にお問い合わせください。
お問い合わせ
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06-6390-5521
