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マイクロ波製品

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2.45GHz マイクロ波製品
1kW~5kW パルス出力機能付マイクロ波電源

特徴

  • 再現性の良い高精度出力で、安定した高密度プラズマの発生に貢献
  • 1kWから5kWまでの幅広いラインナップ
  • 整合器を含めたフル・サポートにも対応

仕様

定格出力 1kW 1.5kW 3kW 5kW
出力安定度 ±1%以内 ±0.5%以内 ±1%以内
パルス周波数 100Hz - 2kHz
(1レベル)
外形寸法 幅(W) 480mm 420mm 480mm
高さ(H) 199mm 170mm 199mm 220mm
奥行き(L) 430mm 530mm 580mm

特徴

  • CPU制御により最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性
  • 多彩な整合パラメータ設定
  • PC接続による制御。外部コントロールユニットはオプション対応

仕様

周波数範囲 2460±30MHz
許容通過電力 5kW 連続波(パワーリップル10%以下)
整合精度 1%以内(電力比)*
整合速度 2秒以内 *
冷却方式 水冷
  • *負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
  • 詳細な仕様については個別にお問い合わせください。

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