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高周波電源・自動整合器

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13.56MHz
高周波電源・自動整合器
500W~30kW ・小型・高効率の標準タイプ
・2レベルパルス対応の高機能タイプ

特徴

  • フットプリント当社従来比50%減 トップクラスの小型化
  • 業界最高峰のAC-RF変換効率75% 環境にやさしい省電力設計

仕様

定格出力 3kW 5kW
出力安定度 ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 100kHz(1レベル)
冷却方式 強制空冷+水冷方式
外形寸法 幅(W) 215mm 420mm
高さ(H) 133mm(3U)
奥行き(L) 540mm 440mm

※記載のない出力帯については個別にお問い合わせください。

特徴

  • 15kWから30kWの大容量ラインナップ
  • 整合器を含めたフル・サポートにも対応
  • 可変周波数機能内蔵によるシステム・コストダウンへの貢献

仕様

定格出力 15kW 30kW
出力安定度 ±1%又は、±30Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 100kHz(1レベル)
冷却方式 強制空冷+水冷方式
外形寸法 幅(W) 430mm
高さ(H) 370mm 560mm
奥行き(L) 850mm

特徴

  • 3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
  • 高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
  • 500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

仕様

定格出力 500W 1kW 2kW 3kW 5kW
出力安定度 ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 100kHz(2レベル)
外形寸法 幅(W) 215mm 420mm
高さ(H) 133mm(3U) 222mm
(5U)
奥行き(L) 430mm 500mm

特徴

  • 当社独自のアルゴリズムにより最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性
  • 多彩な整合パラメータ設定
  • PC接続によるモニタ機能を使ってデータ測定、監視が可能

仕様

周波数範囲 13.56MHz
許容通過電力 500W~30kW
整合精度 1%以内(電力比)*
整合速度 3秒以内 *
冷却方式 水冷、強制空冷
  • *負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
  • 詳細な仕様については個別にお問い合わせください。

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