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高周波電源・自動整合器

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4MHz 高周波電源
500W~30kW パルス出力機能付高周波電源

特徴

  • パルス機能を搭載
  • 整合器を含めたフル・サポートにも対応
  • 大電力モデルも取り揃え、プロセスのハイパワー化に対応

仕様

定格出力 500W 1kW 3kW 5kW
出力安定度 ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 50kHz(1レベル)
冷却方式 強制空冷+水冷方式
外形寸法 幅(W) 215mm 420mm
高さ(H) 133mm(3U)
奥行き(L) 500mm 520mm

※記載のない出力帯については個別にお問い合わせください。

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