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高周波電源・自動整合器

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60MHz 高周波電源・自動整合器
500W~5kW 2レベルパルス出力機能付高周波電源

特徴

  • 3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
  • 高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
  • 500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

仕様

定格出力 500W 1kW 2kW 3kW 5kW
出力安定度 ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 100kHz(2レベル)
外形寸法 幅(W) 215mm 420mm
高さ(H) 133mm(3U) 222mm
(5U)
奥行き(L) 430mm 500mm

特徴

  • CPU制御により最適なポジションを計算で求めているため、無駄な動作を抑えた高速・高精度な整合特性
  • 多彩な整合パラメータ設定
  • PC接続によるモニタ機能を使ってデータ測定、監視が可能

仕様

周波数範囲 60MHz
許容通過電力 5kW
整合精度 1%以内(電力比)*
整合速度 3秒以内 *
冷却方式 水冷、強制空冷
  • *負荷としてダミーロードを用いた当社試験設備による実験結果。
  • 詳細な仕様については個別にお問い合わせください。

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