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高周波電源・自動整合器

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27.12MHz 高周波電源
500W~5kW 2レベルパルス対応の高機能タイプ

特徴

  • 3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
  • 高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
  • 500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

仕様

定格出力 500W 1kW 2kW 3kW 5kW
出力安定度 ±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内
パルス周波数 1Hz - 100kHz(2レベル)
外形寸法 幅(W) 215mm 420mm
高さ(H) 133mm(3U) 222mm
(5U)
奥行き(L) 430mm 500mm

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