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ウエハ搬送ロボット

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ACTRANS
UTW-REH5500 ~300mmウエハ用、高速搬送 450WPHの高速搬送ロボット

特長

  • 450WPHの高速搬送

仕様 ※1

型式 Model UTW-REH5500
ロボット形状 Robot Type 4軸円筒座標系
4 axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 1800mm/sec.
θ-axis 360°/sec.
Z-axis 500mm/sec.
動作時間
Cycle Time
X, A-axis 0.5sec/mm
θ-axis 1.2sec/340°
Z-axis 0.8sec/300mm
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
XYZ direction ±0.1mm each
可搬質量 Payload 0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 32kg
必要諸源 Facilities 真空 Vacuum -80kPag or less, 10NL/min
電源 Power 3 Phases 200-230±10% VAC 15A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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