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クリーン搬送ロボット

ウエハ搬送ロボット(大気環境用)

  • ACTRANS UT-AFX/W3000NM

    ACTRANS
    UT-AFX/W3000NM

    ~300mmウエハ用
    標準モデル

    電力線通信技術を搭載した弊社標準ロボット

  • UTX/W-RF5500RW

    UTX/W-RF5500RW

    ~300mmウエハ用
    防滴モデル

    IP64の保護等級を持つ防滴ロボット

  • ACTRANS UTM-R3700F

    ACTRANS UTM-R3700F

    ~300mmウエハ用

    広範囲動作が可能な多関節型ロボット

  • ACTRANS UTX-RF5500RP

    ACTRANS UTX-RF5500RP

    ~300mmウエハ用
    ベルヌーイモデル

    薄ウエハが搬送可能なベルヌーイロボット

  • ACTRANS UTW-REH5500

    ACTRANS UTW-REH5500

    ~300mmウエハ用、高速搬送

    450WPHの高速搬送ロボット

  • ACTRANS UTC-R800

    ACTRANS UTC-R800

    ~200mmウエハ用

    旧MECS社のベストセラーを
    最新の技術で復刻したロボット

  • ACTRANS UTPX-R5500

    ACTRANS UTPX-R5500

    マスク基板搬送用
    低パスラインモデル

    マストタイプZ軸の低パスラインロボット

ウエハ搬送ロボット(真空環境用)

  • UTV-RS2600W シリーズ

    UTV-RS2600W シリーズ

    ~300mmウエハ用

    スタンダードなダブルアーム真空ロボット

  • UTV-R2700H シリーズ

    UTV-R2700H シリーズ

    ~300mmウエハ用

    アーム長、Z軸の有無が選択可能な
    シングルアーム真空ロボット

  • UTVW-R2800H

    UTVW-R2800H

    ~300mmウエハ用、2kg可搬

    DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット