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クリーン搬送ロボット

ウエハ搬送ロボット(大気環境用)

ウエハ搬送ロボット(真空環境用)

  • UTV-RS2600W シリーズ

    UTV-RS2600W シリーズ

    ~300mmウエハ用

    スタンダードなダブルアーム真空ロボット

  • UTV-R2700H シリーズ

    UTV-R2700H シリーズ

    ~300mmウエハ用

    アーム長、Z軸の有無が選択可能な
    シングルアーム真空ロボット

  • UTVW-R2800H

    UTVW-R2800H

    ~300mmウエハ用、2kg可搬

    DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット

ニュースリリース・お知らせ

イベント2016/12/05
SEMICON Japan 2016 出展のお知らせ
製品2016/06/24
医療・医薬分野向け産業用ロボットを新発売
イベント2015/12/16
SEMICON Japan 2015
イベント2015/11/27
SEMICON Japan 2015のお知らせ
イベント2015/02/04
SEMICON Korea 2015

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