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クリーン搬送ロボット

ウエハ搬送ロボット(大気環境用)

ウエハ搬送ロボット(真空環境用)

  • UTV-RS2600W シリーズ

    UTV-RS2600W シリーズ

    ~300mmウエハ用

    スタンダードなダブルアーム真空ロボット

  • UTV-R2700H シリーズ

    UTV-R2700H シリーズ

    ~300mmウエハ用

    アーム長、Z軸の有無が選択可能な
    シングルアーム真空ロボット

  • UTVW-R2800H

    UTVW-R2800H

    ~300mmウエハ用、2kg可搬

    DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット