ホーム>製品情報>クリーン搬送ロボット

クリーン搬送ロボット

フラットパネル搬送ロボット(大気環境用)

フラットパネル搬送ロボット(真空環境用)

  • SPR-801S

    SPR-801S

    3kg可搬

    G3パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-806S

    SPR-806S

    10kg可搬

    G4パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-811S

    SPR-811S

    15kg可搬

    G4.5パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8542

    SPR-8542

    50kg可搬

    G6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8546

    SPR-8546

    120kg可搬、
    耐熱仕様

    高温環境下で使用可能なG6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-804S

    3kg可搬

    Z軸搭載のG3パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8109

    50kg可搬

    Z軸搭載のG5パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8110

    15kg可搬

    Z軸搭載のG4.5パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8111

    100kg可搬

    重量物搬送が可能なG5パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8112

    150kg可搬

    重量物搬送が可能なG6パネル対応シングルアーム真空ロボット

  • SPR-8501S

    50kg可搬

    高い実績を持つG5パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8504

    150kg可搬

    重量物搬送が可能なG6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8508

    70kg可搬

    重量物搬送が可能なG6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8524

    300kg可搬

    重量物搬送が可能なG8.5パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8539

    120kg可搬

    リニアスライドタイプのG6パネル対応ダブルアーム真空ロボット

  • SPR-8547

    200kg可搬

    高い実績を持つG8.5パネル対応ダブルアーム真空ロボット