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クリーン搬送ロボット

ウエハ搬送ロボット

真空環境
ウエハサイズ シングルアーム ダブルアーム
200~300mm UTV-R2700Hシリーズ UTV-RS2600Wシリーズ
UTVW-R2800H

EFEM

ウエハサイズ 2ポート 3ポート
300mm OPS-2300シリーズ OPS-3100シリーズ

フラットパネル搬送ロボット

真空環境用
可搬質量 パネルサイズ
(参考)
シングルアーム ダブルアーム
Z軸なし Z軸あり リンクアーム リニアスライド
3kg G3 SPR-801S SPR-804S
10kg G4 SPR-806S
15kg G4.5 SPR-811S SPR-8110
50kg G5 SPR-8109 SPR-8501S
G6 SPR-8542
70kg G6 SPR-8508
100kg G5 SPR-8111
120kg G6 SPR-8539
SPR-8546
150kg G6 SPR-8112 SPR-8504
200kg G8.5 SPR-8547
300kg G8.5 SPR-8524
500kg G10 お問い合わせください
大気環境用
可搬質量 パネルサイズ(参考) シングルアーム ダブルアーム
3kg G2 SPR-902S
5kg G3/G4 SPR-906S
5kg SPR-9019 SPR-9519
50kg G5/G6 SPR-9518

垂直多関節ロボット

大気環境用
可搬重量 型式
4kg FDCL-V4MN