半導体・フラットパネルディスプレイ製造分野での搬送に
高い信頼性で応えるダイヘンのクリーン搬送ロボット
ウエハ搬送ロボット「ACTRANS」シリーズ
クリーン搬送ロボットの分野において、共に20年の歴史を持つダイヘンとMECS。長きに渡り市場で高い評価を得てきた2社の技術が融合し誕生した「ACTRANS」シリーズは、お客様の幅広いニーズに対応し最適なソリューションを提供いたします。
フラットパネル搬送ロボット「SPR」シリーズ
FPD製造プロセスでは、大型のパネルを高速かつ高精度に搬送する必要があります。ダイヘンでは、3Dモデルによる構造解析で軽量・高剛性なアームを採用。更にモーターや制御系の最適化により高速かつ安定した搬送を実現しています。また、CVD装置などの高温環境下で使用されるロボットについては、熱分布解析を行い最適な耐熱ソリューションを提供しています。
3Dモデルによる機械強度解析
3Dモデルによる熱分布解析
