UT-AXW3000NS シリーズ
～300mmウエハ用
大気搬送エリアの省スペース化に貢献する
垂直多関節型スカラアームロボット
特長
- ●垂直多関節型と２軸水平スカラ動作により、EFEM内搬送スペースの最小化に貢献
- ●ワーク把持方法は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式に対応可能
- ●内蔵アライナタイプをリリース予定
現状ロボット搬送幅
新型ロボット搬送幅
- ●走行軸無しで、上下・左右方向の広範囲にアクセス可能であり、3～5ポートに対応可能
仕様 ※1
| 型式 Model | UT-AXW3000NS | UT-AXW3001NS | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 6軸垂直多関節型 | ||
| ワーク把持方式 Wafer Gripping Method | 真空吸着式／エッジクランプ式 | ||
| 動作範囲 Operation Range (※2) |
X-axis | 550mm | |
| Y-axis | 2200mm | 2700mm | |
| Z-axis | 1186mm | 1436mm | |
| 最大速度 Max. Operation Speed |
X-axis | 1500mm/sec | |
| Y-axis | 1500mm/sec | ||
| Z-axis | 1500mm/sec | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ direction: ±0.05 mm each (※3) | ||
| 可搬質量 Payload | 1.0kg (※4) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 | ||
| 本体質量 Mass | Approx. 150 kg | Approx. 155 kg | |
| 設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃ | |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 アーム姿勢によっては制限があります
※3 当社の評価条件による
※4 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量
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