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Wafer Aligner

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ACTRANS
OFH-4100 series

For wafers up to 50-300mm

Features

  • 世界最高レベルのアライメント速度
  • 石英ウエハにも対応可能

Specifications

Model OFH-4100 OFH-4101 OFH-4102 OFH-4103
Applicable Wafer Size (*1) 200-300mm 150-200mm 100-200mm 50-150mm
Repeatability XY方向:各±0.1mm、θ方向:±0.2°
Alignment Time 1.8sec. (*2)
Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
Mass 8kg
Facilities Vacuum -80KPag or less, 10NL/min
Power 24 VDC 3A
Environment Temperature 15-25°C
Humidity 60% or less (No condensation)

*1 石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。
*2 50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です。