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ニュースリリース・お知らせ 2010年度

FPD China 2011 出展のお知らせ

2011年3月3日

当社は、2011年3月15日(火)から17日(木)にかけて、上海新国際博覧センター(SNIEC)で開催されるFPD China 2011にダイヘン精密機械(常熟)有限公司と合同で出展致します。

中国では、液晶テレビなどフラットパネルディスプレイ関連の大規模な新規投資が計画されております。
当展示会では、液晶基板搬送ロボットやMECSブランドの高機能/高信頼性のウエハ搬送ロボットによるデモンストレーション並びにプラズマ発生用高周波電源を展示致します。

会期 2011年3月15日(火)~3月17日(木) 10:00~17:00
※17日のみ16:00まで
会場 上海新国際博覧センター(SNIEC)
2345 Long Yang Road Pudong New area, Shanghai
[当社ブースW1-1008]

主な展示品

  • 第4世代液晶基板搬送用大気ロボット
  • 300㎜ウエハ搬送用大気ロボット/真空ロボット/アライナー
  • 液晶基板製造装置用高周波電源(13.56MHz,30kW)
  • 半導体製造装置用高周波電源(60MHz,3kW)

第4世代液晶基板搬送用大気ロボット
第4世代液晶基板搬送用
大気ロボット

液晶基板製造装置用高周波電源
液晶基板製造装置用
高周波電源

300㎜ウエハ搬送用真空ロボット
300㎜ウエハ搬送用
真空ロボット

お問い合わせ

株式会社ダイヘン 半導体機器カンパニー企画部 大ヶ谷
TEL:06-6390-5575
FAX:06-6308-6372