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UTX/W-RF6000 ~200mmウエハ用

特長

  • ACサーボモーターによる滑らかな動作

仕様 ※1

型式 Model UTX-RF6000 UTW-RF6000
ロボット形状 Robot Type 3軸円筒座標形 4軸円筒座標形
3-axis Cylindrical Coordinate 4-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis +350mm X: 350mm、A: 385mm/(-85mm)
θ-axis 340°
Z-axis 200mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 1000mm/sec
θ-axis 450°/sec
Z-axis 400mm/sec
分解能
Resolution
X, A-axis 0.0042mm/pulse or less
0.001°/pulse (Arm Operation Angle)
θ-axis 0.001°/pulse
Z-axis 0.001mm/pulse
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 Payload 0.5kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 20kg 25kg
必要諸源 Facilities 真空 Vacuum -80KPag or less, 10NL/min
電源 Power 100-115 VAC 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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