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ACTRANS
UTX-RF5500RP ~300mmウエハ用ベルヌーイモデル 薄ウエハが搬送可能なベルヌーイロボット

特長

  • ベルヌーイハンド搭載で50μmまでの薄ウエハが搬送可能

仕様 ※1

型式 Model UTX-RF5500RP
ロボット形状 Robot Type 4-axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
R-axis 183°
最大動作速度
Max. Operation Speed
X1, X2-axis 800mm/sec
θ-axis 200°/sec
Z-axis 200mm/sec
R-axis 180°/sec
動作時間
Cycle Time
X1, X2-axis 1.3sec/500mm
θ-axis 2.5sec/340°
Z-axis 2.0sec/300mm
R-axis 2.0sec/180°
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm, R軸±0.1°
XYZ direction ±0.1mm each, R-axis ±0.1°
可搬重量 Payload 0.5kg/arm (ハンドを含む)(Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 33kg
必要諸元 Facilities エア Air 0.4-0.7MPaG, 200L/min
電源 Power 100-115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 20-70% (結露なきこと)(No condensation)

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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