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UTVW-R2800H ~300mmウエハ用、2kg可搬 DDモータ採用で
高精度動作が可能な真空ロボット

特長

  • 旋回軸にDDモータを採用し、高精度な動作が可能
  • 可搬重量2kgで、重量物搬送にも対応

仕様 ※1

型式 Model UTVW-R2800H
ロボット形状 Robot Type 4軸円筒座標形 4 axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X-axis 680mm
θ-axis 330°
Z-axis 50mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 120°/sec.
θ-axis 80°/sec.
Z-axis 37.5mm/sec.
分解能
Resolution
X, A-axis 0.001mm/pulse or less
θ-axis 0.001°/pulse
Z-axis 0.001mm/pulse
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 Payload 2kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 85kg
必要諸源 Facilities 電源 Power Single phase 200-220±10% VAC 3A
設置環境 Environment 温度 Temperature 15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit)
圧力 Pressure Atmospheric pressure ~ 10-6Pa

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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