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ウエハ搬送ロボット

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UTV-RS2600W シリーズ ~300mmウエハ用 スタンダードなダブルアーム真空ロボット

特長

  • 多くの採用実績を持つスタンダードなダブルアーム真空ロボット

仕様 ※1

型式 Model UTV-RS2600W UTV-RS2620W
ロボット形状 Robot Type 4軸円筒座標形 4 axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X-axis 440mm 545mm
θ-axis 340°
Z-axis 35mm
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 1000mm/sec.
θ-axis 216°/sec.
Z-axis 75mm/sec.
分解能
Resolution
X, A-axis 0.001mm/pulse or less
θ-axis 0.001°/pulse
Z-axis 0.001mm/pulse
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.2mm
可搬質量 Payload 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 75kg (35kg)
必要諸源 Facilities 電源 Power 100-115 VAC 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 0-40℃ (Atmosphere side)/0-80℃ (Vacuum Seal Unit)
圧力 Pressure Atmospheric pressure ~ 10-6Pa

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。

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