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ウエハ搬送ロボット

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UTV-R2700H シリーズ ~300mmウエハ用 アーム長、Z軸の有無が選択可能な
シングルアーム真空ロボット

特長

  • 3種類のアーム長に標準対応、Z軸の有無も選択でき、様々な装置レイアウトに対応

仕様 ※1

型式 Model(※2) UTV-R2700 (H) UTV-R2730 (H) UTV-R2750 (H)
ロボット形状 Robot Type 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X-axis 510mm 660mm 720mm
θ-axis 340°
Z-axis(※2) (20mm)
最大動作速度
Max. Operation Speed
X, A-axis 421.92°/sec.
θ-axis 200°/sec.
Z-axis(※2) (121mm/sec.)
分解能
Resolution
X, A-axis 0.001°/pulse (Arm Operation Angle)
0.060mm/pulse or less 0.077mm/pulse or less 0.084mm/pulse or less
θ-axis 0.001°/pulse
Z-axis(※2) (0.001mm/pulse)
繰返し位置精度 Repeatability XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 Payload 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass(※2) 29kg (35kg)
必要諸源 Facilities 電源 Power 100-115 VAC (50/60kHz) 5A
設置環境 Environment 温度 Temperature 10-40℃ (Atmosphere side)/0-80℃ (Vacuum Seal Unit)
圧力 Pressure Atmospheric pressure ~ 10-6Pa

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 ( )記載は、Z軸搭載タイプ

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