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SPR-8547 200kg可搬 高い実績を持つG8.5パネル対応ダブルアーム真空ロボット

特長

  • G8.5パネル対応のダブルアーム真空ロボット
  • リニアスライドタイプで高い直進性を実現
  • CVD装置への多くの搭載実績

仕様

ロボット型番 SPR-8547
ロボット形状 4軸円筒座標形
本体質量 3800kg
可搬質量
(エンドエフェクタ・ホルダ含む)
X1軸 130kg以下
X2軸 180kg以下
動作範囲 X軸 3650mm
θ軸 340deg.
Z軸 540mm
動作時間
(通信時間含まず)
X軸 2.5sec./3650mm
θ軸 2.5sec./180deg.
Z軸 2.0sec./540mm
アーム水平精度(ダレ) P-P 6mm以下
(ホルダ取付フランジから3400mm位置)
アーム軌跡精度(蛇行) ±5mm以下
(ホルダ取付フランジから3400mm位置)
繰返し位置精度 XY方向:±1.0mm以下
Z方向:±0.5mm以下
(ホルダ取付フランジから3400mm位置)
クリーン度 ISO Class 4
耐真空度 1.3×10-3Pa
周囲温度 X軸:+20℃~+160℃
θ・Z軸:+15℃~+80℃
耐振動 4.9m/sec.2以内 (0.5G以下)

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