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EFEM

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Ophiuchus
OPS-3100 シリーズ EFEM 高速・コンパクトな3ポートEFEM

特長

  • 300WPHの高スループットで、接続する装置のポテンシャルを最大化
  • コンパクトな筐体で生産ラインの省スペース化に貢献

仕様

型式 Model OPS-3100 Series
外形寸法
Outline Dimension
1955mm(W)
1235mm(D)
2230mm(H)
適用ウエハ
Applicable Wafer
300mm Silicon Wafer
(SEMI Standard E15.1)
適用カセット
Applicable Casette
FOUP(SEMI Standard E47.1, E62)
FOSB
スループット
Throughput
300 WPH(w/Vacuum E/E)
220 WPH(w/Edge Grip E/E)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 Mass 750kg
HOST通信I/F
HOST Communication I/F
HSMS
オプション Option Aligner, Ionizer, Safety Light Curtains etc.
必要諸源
Facilities
真空 Vacuum -80kPag or less, 40NL/min.
-60kPag±10%, 20NL/min.
圧空 CDA 0.52~0.6MPag, 60NL/min.
電源 Power Single Phase 200±10% VAC 20A
設置環境
Environment
温度 Temp. 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1:4ポートモデル (OPS-4100 Series) についてはお問い合わせください。

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