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EFEM

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Ophiuchus
OPS-2300 シリーズ EFEM コンパクトな2ポートEFEM

特長

  • 2FOUPにアクセスできるロボット搭載でY軸レス化を実現
  • ロボット・アライナの協調制御によりアライナを簡略化し、コストダウンを実現

仕様

型式 Model OPS-2300 Series
外形寸法
Outline Dimension
1424mm(W)
1217mm(D)
2000mm(H)
適用ウエハ
Applicable Wafer
300mm Silicon Wafer
(SEMI Standard E15.1)
適用カセット
Applicable Casette
FOUP(SEMI Standard E47.1, E62)
FOSB
スループット
Throughput
180 WPH
クリーン度 Cleanliness ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 Mass 500kg
HOST通信I/F
HOST Communication I/F
HSMS
オプション Option Aligner, Ionizer, Safety Light Curtains etc.
必要諸源
Facilities
真空 Vacuum -80kPag or less, 40NL/min.(for Robot and Aligner)
-60kPag±10%, 20NL/min.(for Load port)
圧空 CDA 0.52~0.6Mpag, 60 NL/min.
電源 Power Single phase 220V±10% VAC
設置環境
Environment
温度 Temp. 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

※1:4ポートモデル (OPS-4100 Series) についてはお問い合わせください。

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