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EG-303 シリーズ 300mmウエハ用 ウエハ裏面に接触しない
エッジグリップタイプのアライナ

特長

  • ウエハ裏面に接触しないエッジグリップタイプ
  • 石英ウエハにも対応可能

仕様

型式 Model EG-303
適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size 300mm
繰返し位置精度
Repeatability
高精細モード High Accuracy Mode XY: ±0.05mm θ: ±0.075°
ノーマルモード Normal Mode XY: ±0.2mm θ: ±0.1°
アライメント時間
Alignment Time
高精細モード High Accuracy Mode Average 7.5sec.
ノーマルモード Normal Mode Average 3.5sec.
クリーン度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 Mass 7kg
必要諸源 Facilities 電源 Power 24 VDC 3A
設置環境
Environment
温度 Temperature 0-40℃
湿度 Humidity 70% or less (No condensation)

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